SWIRイメージスキャナ | 製品案内 | アイメジャー株式会社

SWIR Image Scanner SWIR 画像をイメージスキャナ方式で。

SWIR（短波長赤外）を二次元画像で解析可能。半導体検査、水分の分布可視化、食品の異物検査に。

応用事例

| 半導体ウェハの均一性評価。 | 水分分布を２次元で可視化。 | 広範囲を一括撮影、異物検査・・・など

基本仕様

	光源	階調	光学解像度
SWIR 専用機	SWIR 例: λ＝1050 / 1300 / 1550 nm	12bit 入力 / 16bit 出力	211 ppi（総画素数：900 万画素）
SWIR 専用機（HDR）	SWIR 例: λ＝1050 / 1300 / 1550nm	14bit 入力 / 16bit 出力	168 ppi（総画素数：570 万画素）
2ch-SWIR 専用機	SWIR 例: λ1=1300 nm / λ2=1550 nm	12bit 入力 / 16bit 出力	SWIR（λ1）：84 ppi（総画素数：140 万画素） SWIR（λ2）：84 ppi（総画素数：140 万画素）
フルカラー / SWIR マルチモード機	白色 / SWIR 例: λ＝1050 / 1300 / 1550 nm	各色 12 bit 入力 / 16bit 出力	可視：280 ppi（総画素数：1600 万画素） SWIR：84 ppi（総画素数：140 万画素）

※取込寸法：310 mm × 420 mm

※追加オプションにて透過モード可。

※価格、納期はお問合せください。

特長

01有効感度波長域は、900〜1700nm

センサは、InGaAsを使用しています。可視光域から赤外域の一般的な名称は以下の通りです。
• 可視（Visible, VIS）：380〜780nm
• 近赤外（Near‑Infrared, NIR）：780〜1100 nm
• 短波長赤外（Short‑Wave Infrared, SWIR）：約 1.0–3 μm
• 中波長赤外（Mid‑Wave Infrared, MWIR）または中赤外（MIR）：約 3–5μm
• 長波長赤外（Long‑Wave Infrared, LWIR）：約 8–12 μm

02オーダーメードで光源の発光波長を指定

赤外線LEDの発光波長を選定することで、解析対象の成分について、試料中の二次元分布を可視化することが可能です。
例えば、代表的な波長として1450nm　水（H2O)の吸収波長があります。
他にも、1050nm、1300nm、1550nm、などのLEDを光源として採用することが可能です。

03材料の分析や解析に必要な階調画像を得られます

256階調(8bit)、もしくは、16384階調（14bit)の反射率や透過率の分析が可能です。
基準板による校正機構を搭載しており、光源光量ムラやレンズによる周辺減光ムラの影響を受けない、試料の反射率や透過率に忠実な値を得る事ができます。
また、光源の照射角度が一定のため、表面の平滑性や凹凸を数値で可視化することができます。

04擬似カラーで可視化

各波長で得られた画像は、いずれもグレースケール（白黒）画像です。
しかし、波長毎の画像をフルカラー画像のRed/Green/Blueの各種チャンネルに割り当てて、疑似的なフルカラー画像として解析することが可能です。
肉眼に敏感な色の差として表現することで、僅かな反射率の差や、ムラを簡単に可視化することができます。